1.電子敏感元件廢氣簡述

電子敏感元件是一種能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息并將其轉變為電信息的特種電子元件。電子敏感元件是傳感器的核心元件。隨著電子計算機和信息技術的迅速發展，電子敏感元件的重要性日益增大，帶動了電子敏感元件制造行業快速發展，行業規模迅速擴大，技術水平提升，有力推動了我國信息化建設和經濟社會發展。但是電子敏感元件在制造生產過程會產生廢氣污染物，其污染物主要為氫氟酸、氨氣、非甲烷總烴等廢氣污染物。這些污染物如果未經過凈化處理，直接排放進入大氣，不但對環境造成了嚴重污染，還嚴重危及周邊居民的身體健康。因此，必須對電子敏感元件廢氣進行凈化處理后達標排放。

1.1電子敏感元件廢氣來源及成分

氫氟酸酸霧：清洗工序使用氫氟酸溶液，產生酸霧，主要污染因子為氟化氫。

氨氣：PECVD（等離子化學氣相沉積）工序原理是采用進氣管計量將硅烷和氨氣通入 PECVD 管內，通過化學反應產生氮化硅。該工序產生含氨氣的廢氣，主要污染因子為氨氣。

有機廢氣：絲印燒結工序產生少量有機廢氣，主要污染因子為非甲烷總烴。

2.電子敏感元件廢氣處理方法

電子敏感元件制造生產過程產生廢氣為氟化氫、氨氣、有機廢氣等廢氣污染物，對于氟化氫、氨氣等酸堿性廢氣處理采用酸堿中和法即可處理，而對于有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法，下面天浩洋小編詳細介紹電子敏感元件廢氣處理方法。

2.1 酸堿性廢氣處理方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌凈化法，在電子行業生產中應用相當普遍，具有運行穩定，處理效果好，投資少，處理費用低等優點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用于大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。

活性炭凈化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產生的廢氣直接外排會導致二次污染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但凈化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控制非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的凈化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業。

以上關于電子敏感元件廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對于電子敏感元件廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方面進行設計收集處理。如果您有電子敏感元件廢氣需要凈化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，咨詢天浩洋環保,為您提供電子敏感元件廢氣處理方案及設備。